金融界2025年1月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，东莞市晟鼎精密仪器有限公司获得一项名为“一种用于石墨舟干法刻蚀的真空腔体结构”的专利，授权公告号 CN 222320177 U，请求日期为 2023 年 12 月。

  专利摘要显现，本实用新型公开了一种用于石墨舟干法刻蚀的真空腔体结构，包含不锈钢圆筒型的真空腔体，所述真空腔体的内部装置有不锈钢资料质地的支撑杆；本实用新型经过将真空腔体设置为圆筒型，将石墨舟放入真空腔体内的支撑杆固定方位上，石墨舟别离对接真空腔体内的电极管接头，关上腔门组织，加热管加热升温，到设定温度值后发动真空泵组抽真空，经真空计检测真空腔体内的真空度到达设定真空度后，长途等离子电源通入氩气并焚烧，长途等离子电源焚烧成功后通入 NF3,长途等离子电源开端电离 NF3，构成的等离子体进入真空腔体，对石墨舟进行刻蚀清洗，经过此方法再合作圆筒型真空腔体大大下降腔壁会因刻蚀化合物堆积呈现腐蚀发生粉末。

  天眼查资料显现，东莞市晟鼎精密仪器有限公司，成立于2012年，坐落东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册本钱3550万人民币，实缴本钱2724万人民币。经过天眼查大数据分析，东莞市晟鼎精密仪器有限公司共对外出资了6家企业，参加招投标项目64次，知识产权方面有商标信息6条，专利信息138条，此外企业还具有行政许可9个。

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