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金融界2024年12月4日音讯,国家知识产权局信息数据显现,东莞市晟鼎精密仪器有限公司获得一项名为“一种等离子去胶机的偏压控温载盘”的专利,授权公告号 CN 222088533 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本实用新型触及一种等离子去胶机的偏压控温载盘,包含陶瓷底环、偏压盘、绝缘衔接环、绝缘底盘、间隔环、陶瓷顶环、控温载盘以及油路衔接收,所述陶瓷底环和绝缘衔接环围组成绝缘结构,所述偏压盘装置于绝缘结构中,所述偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘从下到上顺次装置衔接,控温载盘顶部设有陶瓷顶环,所述陶瓷顶环将控温载盘包覆,所述陶瓷顶环与控温载盘设有空隙空间所述间隔环装置于空隙空间内所述油路衔接收装置于偏压盘上,所述绝缘底盘设有油路导流口,所述控温载盘设有环形流道槽,当偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘拼装后,所述油路衔接收、油路导流口以及环形流道槽顺次连通。