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东莞市晟鼎精密仪器获得等离子体生成螺旋电感耦合线圈专利提高电离功率

东莞市晟鼎精密仪器获得等离子体生成螺旋电感耦合线圈专利提高电离功率

产品详细

  

东莞市晟鼎精密仪器获得等离子体生成螺旋电感耦合线圈专利提高电离功率

  金融界2025年2月18日音讯,国家知识产权局信息数据显现,东莞市晟鼎精密仪器有限公司获得一项名为“一种等离子体生成螺旋电感耦合线圈”的专利,授权公告号CN 222483279 U,请求日期为2023年12月。

  专利摘要显现,本实用新型触及一种等离子体生成螺旋电感耦合线圈,包含外部线圈、接地铜片、真空电容以及射频衔接铜片,所述外部线圈环绕套接于电离腔,所述外部线圈的输入端经过接地铜片衔接于接地端,所述外部线圈的输出端设备有真空电容,所述真空电容经过射频衔接铜片衔接于射频端RF,相对于现存技能,本实用新型应用于等离子体设备上,外部线,外部线圈环绕方法选用了较大的环绕直径D2,减少了线圈的圈数,并且在射频端RF与外部线圈之间增加了真空电容,以此来完成提高电离功率,可有用提高等离子浓度及能量,为工艺供给更多的自由基进行工艺处理。

  天眼查资料显现,东莞市晟鼎精密仪器有限公司,成立于2012年,坐落东莞市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册本钱3550万人民币,实缴本钱2724万人民币。经过天眼查大数据分析,东莞市晟鼎精密仪器有限公司共对外出资了6家企业,参加招投标项目64次,知识产权方面有商标信息6条,专利信息147条,此外企业还具有行政许可9个。

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